يعتبر جهاز تلميع السيراميك CMP المعدات الأساسية للمعالجة الدقيقة للسيراميك. وتحدد نتيجة التلميع جودة السطح ودقة المعالجة بشكل مباشر. ونوع سائل التلميع وسرعة دوران القرص هما المتغيران الرئيسيان اللذان يؤثران على كفاءة التلميع ونسبة المنتجات الصالحة.

سوائل التلميع الحمامية ذات كفاءة عالية في الإزالة، ومناسبة للتلميع الخشن ولكنها تسبب التآكل. والسوائل القلوية لطيفة ومناسبة للتلميع الدقيق ولكنها أبطأ. ويجب مطابقة حجم الحبيبات: 1–3 ميكرومتر للتلميع الخشن و 0.1–0.5 ميكرومتر للتلميع الدقيق.

السرعة: 200–350 دورة في الدقيقة للتلميع الخشن، 100–200 للتلميع الدقيق. السرعة العالية تسبب الحرارة والأكسدة، والسرعة المنخفضة تترك خدوش.

بشكل عام، المطابقة الصحيحة تضمن تلميعاً فعالاً ودقيقاً.