• مواد أشباه الموصلات: مثل السيليكون أحادي البلورية وشرائح كربيد السيليكون. من خلال القطع الميكانيكي لسائل التلميع الماسي والتآكل الكيميائي لسائل التلميع القلوي، تتم إزالة طبقة التلف على سطح الشريحة للحصول على سطح مرآوي فائق الاتساع، مما يوفر الأساس لعملية الطباعة الضوئية (الليثوغرافيا).
• مواد السيراميك: بما في ذلك سيراميك الألومينا وسيراميك نيتريد السيليكون. باستخدام وسادة تلميع ناعمة جنبًا إلى جنب مع سائل تلميع السيليكا الغروية، يتم تحقيق تلميع سطح السيراميك كمرآة من خلال التلميع الميكانيكي والتأمين الكيميائي للجسيمات الدقيقة والنانوية، مما يحسن مقاومتها للتآكل وخاصيتها العازلة.
• مواد معدنية: مثل مكونات دقيقة من سبائك التنجستن والتيتانيوم. باستخدام سائل تلميع مركب الماس، جنبًا إلى جنب مع ضغط وسرعة تلميع قابلة للتحكم، يتم القضاء على علامات المعالجة الميكانيكية على السطح المعدني لتشكيل سطح مرآوي.

• في صناعة أشباه الموصلات، تُعد آلة التلميع المرآة المعدات الأساسية لتصنيع الشرائح؛ حيث تحدد دقتها في المعالجة مباشرة انتاجية والورقة (الشريحة) وأداء الشريحة المصغرة (الرقاقة).
• في صناعة السيراميك الإلكترونية، تُستخدم لتحضير أسطح مرآوية لأرصفة السيراميك وقذائف التغليف، لضمان كفاءة تبديد الحرارة وموثوقية العزل للمكونات الإلكترونية.
• في صناعة الميكانيكا الدقيقة، تقوم بتفليف الأجزاء المعدنية لأساليب الصمامات الهيدروليكية والأدوات البصرية كمرآة لتقليل معامل الاحتكاك السطحي وتحسين أداء الختم والدقة الحركية للمعدات.