Die
Spiegelpolier-Maschine erzielt durch die synergistische Wirkung von physikalischem Schleifen und chemischem Polieren einen Spiegeleffekt mit einer Oberflächenrauheit von Ra≤0,001μm.
Was die verarbeitbaren Materialien und die technische Umsetzung betrifft, ist die Anlage für verschiedene Präzisionsmaterialien geeignet:
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Halbleitermaterialien: Wie beispielsweise einkristallines Silizium und Siliziumkarbid-Wafer. Durch das mechanische Schneiden mit Diamantschliffmittel und die chemische Korrosion mit alkalischem Poliermittel wird die beschädigte Schicht auf der Waferoberfläche entfernt, um eine ultraflache Spiegelfläche zu erhalten und so die Grundlage für den Lithographieprozess zu schaffen.
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Keramikmaterialien: Dazu gehören Aluminiumoxidkeramik und Siliziumnitridkeramik. Unter Verwendung eines weichen Polierkissens in Kombination mit kolloidalem Siliziumdioxid-Poliermittel wird durch mechanisches Schleifen und chemische Passivierung von Mikro-Nano-Partikeln eine Spiegelveredelung der Keramikoberfläche erreicht, wodurch deren Abriebfestigkeit und Isolationseigenschaften verbessert werden.
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Metallmaterialien: Wie beispielsweise Präzisionsbauteile aus Wolfram- und Titanlegierungen. Unter Einsatz von zusammengesetztem Diamantpoliermittel in Kombination mit regelbarem Polierdruck und -drehzahl werden die Bearbeitungsspuren auf der Metalloberfläche beseitigt und ein Spiegeleffekt erzielt.
Was Branchenanwendungen und Schlüsselrollen betrifft:
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In der Halbleiterindustrie ist die Spiegelpolier-Maschine die Kernanlage der Waferherstellung; ihre Bearbeitungsgenauigkeit bestimmt direkt Ausbeute und Leistung des Chips.
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In der Industrie für elektronische Keramik wird sie zur Herstellung von Spiegelflächen für Keramiksubstrate und Gehäuse eingesetzt, um die Wärmeableitungsfähigkeit und Isolationssicherheit elektronischer Bauelemente zu gewährleisten.
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In der Präzisionsmechanik führt sie die Spiegelpolierung von Hydraulikventilkernen und Metallteilen von optischen Geräten durch, um den Oberflächenreibungskoeffizienten zu verringern sowie die Dichtleistung und Bewegungsgenauigkeit der Anlage zu verbessern.
Die Spiegelpolier-Maschine ermöglicht die Ultra-Präzisions-Oberflächenbearbeitung verschiedener Materialien durch die genaue Steuerung von Parametern wie Polierdruck, Drehzahl und Poliermittel-Verhältnis und bietet damit eine entscheidende Oberflächenbehandlungs-Lösung für den Bereich der High-End-Manufacturing.
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