Anlagenhardware und Präzisionskalibrierung: Fundament der Genauigkeit festigen Die Stabilität der Anlagenhardware und die Kalibriergenauigkeit sind Voraussetzungen für die Verarbeitungsgenauigkeit. Hardware-seitig: Ein SPS + Touchscreen-Steuerungssystem wird verwendet, um eine einfache Parameterbedienung und Systemstabilität zu gewährleisten. Die frequenzgesteuerte Drehzahlregelung des Hauptmotors ermöglicht sanftes Anfahren und Anhalten, wodurch Gerätestöße und Werkstückschäden reduziert werden. Zylinderdruck mit geschlossener Regelung über ein elektrisches Proportionalventil sichert einen präzisen und stabilen Kupferpolierdruck; der aktive Antrieb der oberen Polierscheibe gewährleistet eine gleichmäßige Bearbeitung an allen Stationen. Kalibrierung-seitig: Die Polierscheibe und die obere Platte sind mit einer Kühlfunktion ausgestattet, um Oberflächenverformungen zu minimieren. Der eingebaute Scheibenkorrektor kann die Ebenheit der Scheibe auf 0,01 mm begrenzen und so eine hochpräzise Kupferpolierung gewährleisten.

Gestufte Optimierung der Prozessparameter: Präzise Genauigkeitssteigerung Durch gestufte Optimierung der Prozessparameter wird ein Gleichgewicht zwischen Genauigkeit und Effizienz erreicht.