Зеркальная полировальная машина достигает зеркального эффекта с шероховатостью поверхности Ra≤0,001 мкм за счет совместного действия физического шлифования и химического полирования.
Что касается обрабатываемых материалов и технической реализации, оборудование подходит для различных высокоточных материалов:
-
Полупроводниковые материалы: Такие как монокристаллический кремний и пластины карбида кремния. Благодаря механической резке алмазной шлифовальной жидкостью и химическому коррозионному действию щелочной полировальной жидкости удаляется слой повреждений на поверхности пластины, что позволяет получить сверхплоскую зеркальную поверхность и заложить основу для процесса литографии.
-
Керамические материалы: Включая керамику на основе оксида алюминия и нитрида кремния. С использованием мягкой полировальной подушки в сочетании с коллоидной полировальной жидкостью на основе кремния достигается зеркальная отделка керамической поверхности за счет механического шлифования и химической пассивации микро- и нанопартиц, что повышает ее износостойкость и изоляционные свойства.
-
Металлические материалы: Такие как высокоточные компоненты из вольфрамового и титанового сплавов. Применяя композитную алмазную полировальную жидкость в сочетании с управляемым давлением и скоростью полирования, устраняются следы обработки на металлической поверхности, образуя зеркальный блеск.
Что касается отраслевого применения и ключевой роли:
-
В полупроводниковой промышленности зеркальная полировальная машина является ключевым оборудованием для производства пластин; точность ее обработки напрямую определяет выход годных изделий и производительность чипа.
-
В промышленности электронной керамики она используется для создания зеркальных поверхностей керамических субстратов и корпусов для упаковки, обеспечивая эффективность теплоотвода и надежность изоляции электронных компонентов.
-
В промышленности точного машиностроения она осуществляет зеркальную полировку стержней гидравлических клапанов и металлических деталей оптических приборов для снижения коэффициента трения поверхности и повышения герметичности оборудования и точности хода.
Зеркальная полировальная машина обеспечивает сверхточную обработку поверхностей различных материалов за счет точного контроля таких параметров, как давление полирования, скорость вращения и соотношение компонентов полировальной жидкости, предлагая ключевое решение для обработки поверхностей в сфере высокотехнологичного производства.