4-дюймовые пластинки стали основными подложками для светодиодной эпитаксии, GaN-силовых приборов и других областей благодаря высокой термостойкости, высокой твердости (твердость по шкале Мооса 9), отличной оптической пропускной способности и химической стабильности. Качество их поверхностной обработки напрямую определяет стабильность последующих процессов и характеристики приборов. Как основное оборудование для точной обработки 4-дюймовых пластинок, плоскополировальная машина для сапфира должна обеспечивать нанометровый контроль точности с учетом твердых и хрупких свойств сапфира, являясь ключевым оборудованием для обеспечения его промышленного массового производства.

Отраслевые стандарты предъявляют строгие требования к полировке 4-дюймовых пластинок: шероховатость поверхности Ra ≤ 0,1 нм, отклонение плоскостности ≤ 0,5 мкм, отсутствие царапин и остатков. Плоскополировальная машина для сапфира использует технологию химико-механической полировки (CMP). За счет совместного действия механического шлифования и химической коррозии она исключает дефекты, такие как сколы краев и трещины, и подходит для пакетной обработки 4-дюймовых пластинок.

В процессе обработки оборудование использует замкнутый контроль давления в нескольких зонах для точного распределения полировочного давления и предотвращения деформации и отклонения толщины пластинок. Оснащенная специальной полировочной суспензией и полировочными дисками, она подавляет агломерацию абразивов, снижает поверхностные дефекты, такие как царапины и ямки, обеспечивает чистоту поверхности пластинок и соответствует требованиям последующей эпитаксиального роста.

В настоящее время это оборудование обеспечило массовую обработку 4-дюймовых пластинок с интегрированными модулями онлайн-контроля и регулировки параметров. Оно стабильно поддерживает точность обработки, снижает потери расходных материалов и затраты на переделку, обеспечивая надежную поддержку для обработки 4-дюймовых пластинок в областях светодиодов, силовых приборов и других, способствуя высококачественному развитию соответствующих отраслей.