Las obleas de 4 pulgadas se han convertido en sustratos clave para la epitaxia de LED, dispositivos de potencia de GaN y otros campos gracias a su alta resistencia al calor, alta dureza (dureza Mohs 9), excelente transmitancia óptica y estabilidad química. La calidad de su procesamiento superficial determina directamente la estabilidad de los procesos posteriores y el rendimiento de los dispositivos. Como equipo fundamental para el procesamiento preciso de obleas de 4 pulgadas, la Máquina de Pulido Plano de Zafiro debe lograr un control de precisión nanométrica adaptado a las características duras y frágiles del zafiro, siendo el equipo clave para garantizar su producción industrial masiva.

Las normas industriales imponen requisitos estrictos al pulido de obleas de 4 pulgadas: rugosidad superficial Ra ≤ 0,1 nm, desviación de planitud ≤ 0,5 μm, sin arañazos ni residuos. La Máquina de Pulido Plano de Zafiro adopta el proceso de pulido químico-mecánico (CMP). Mediante el efecto sinérgico del rectificado mecánico y la corrosión química, evita defectos como astillados en los bordes y grietas, y se adapta a las necesidades de procesamiento por lotes de obleas de 4 pulgadas.

Durante el procesamiento, el equipo realiza un control de bucle cerrado de presión en múltiples zonas para distribuir con precisión la presión de pulido y evitar la deformación y desviación de grosor de las obleas. Equipada con líquido de pulido y discos de pulido especiales, inhibe la aglomeración de partículas abrasivas, reduce defectos superficiales como arañazos y picaduras, garantiza la limpieza de la superficie de la oblea y cumple los requisitos del crecimiento epitaxial posterior.

En la actualidad, este equipo ha logrado el procesamiento a gran escala de obleas de 4 pulgadas con módulos integrados de detección en línea y regulación de parámetros. Puede mantener de forma estable la precisión de procesamiento, reducir la pérdida de consumibles y los costos de reelaboración, brindando apoyo fiable para el procesamiento de obleas de 4 pulgadas en campos como los LED y los dispositivos de potencia, e impulsando el desarrollo de alta calidad de industrias relacionadas.