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Saphir-Flächenpoliermaschine: Präzisionsbearbeitung von Saphir-Substraten und Epitaxiewafern
2026-06-05712
Saphir zeichnet sich durch hohe Härte, große Sprödigkeit, Kantenausbruchneigung und hohe Verformbarkeit bei extrem dünnen Ausführungen aus. Beim herkömmlichen Flächenpolieren treten häufig ungleichmäßige Belastung, unausgewogener Materialabtrag, Werkstückverzug, Kantenbruch und unzureichende Teilflächenpolitur auf. Übliche Polieranlagen können Einzelfeinheit und chargenbezogene Qualitätsgleichheit nicht gleichzeitig gewährleisten, sodass Ausbeute und Prozessstabilität den Anforderungen der Hochserienfertigung nicht genügen.
Abgestimmt auf die Bearbeitungseigenschaften sprödharten Saphirs ist die Saphir-Flächenpoliermaschine mit einem bahnoptimierten Sondersteuersystem und einer geschlossenen Regelung für flexiblen Anpressdruck ausgestattet. Damit lässt sich ein flächendeckender, schonender, gleichmäßiger Feinabtrag realisieren. Die Maschine beseitigt grundlegend typische Probleme konventioneller Verfahren: Überpolitur am Rand, unzureichende Polierung im Zentrum sowie ungleichmäßiger örtlicher Materialabtrag. Sie kontrolliert Ebenheit und Oberflächengüte einzelner Saphirteile mit hoher Genauigkeit, begrenzt Maßstreuung und Qualitätsunterschiede innerhalb einer Charge und senkt Ausschuss- und Aussonderungsraten bei Präzisions-Saphirkomponenten deutlich.
Nach standardisierter Hochpräzisionspolitur weisen die Werkstücke keine Mikrokratzer oder unteroberflächige Kristallschäden auf und verfügen über hohe Sauberkeit und ausgezeichnete Ebenheit. Die Werkstücke erfüllen sämtliche strengen Anforderungen nachfolgender Weiterverarbeitung: Dünnschichtabscheidung, Ionenbeschichtung, Präzisionsfotolithografie, Vakuumbonding und Präzisionslaminierung. Dank hoher Universalität eignet sich die Anlage zur Großserienfertigung unterschiedlich dimensionierter Saphirbauteile. Durch beständige Hochpräzisionsbearbeitung werden Qualität und Lebensdauer hochwertiger Saphirprodukte verbessert, wodurch sie als Kernausstattung für die Großproduktion der Optoelektronik, Präzisionsoptik, Hochleistungs-Mikroelektronik und intelligenter Sensorik dient.
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Shenzhen Tengyu Grinding Technology Co., Ltd.