Как справиться с трудно очищаемыми остатками частиц на поверхности пластинки после полировки?

После полировки пластинки мы часто находим на поверхности большое количество остаточных частиц. Эти частицы обычно происходят из двух источников:

Во-первых, полирующая шлама содержит большое количество абразивов. Хотя эти абразивные частицы чрезвычайно малы, они имеют определенную степень адгезии и непосредственно прикрепляются к поверхности пластинки после полировки.

Во-вторых, во время процесса полирования происходит трение между полирующей средой и продуктом, генерируя резкую силу. Твердые частицы продукта, отрезанные от поверхности продукта, будут встроены в поверхность пластинки.

Поскольку вышеуказанные две ситуации могут вызвать загрязнение поверхности пластинки и привести к дефектам, таким как царапины, мы обычно используем чистильник для чистки поверхности пластинки после CMP (химической механической полировки).

Чиститель кисти использует материал ПВА (поливиниловый спирт), который мягкий и не будет царапать поверхность пластинки, эффективно очищая различные частицы на поверхности пластинки. Кроме того, мы также рекомендуем регулярно заменять полирующую подложку, чтобы уменьшить загрязнение пластинки.