¿Cómo lidiar con partículas residuales difíciles de limpiar en la superficie de la oblea después del pulido?

Después del pulido de las obleas, a menudo encontramos un gran número de partículas residuales en la superficie. Estas partículas generalmente provienen de dos fuentes:

En primer lugar, la suspensión de pulido contiene una gran cantidad de abrasivos. Aunque estas partículas abrasivas son extremadamente pequeñas, tienen un cierto grado de adhesión y se adherirán directamente a la superficie de la oblea después del pulido.

En segundo lugar, durante el proceso de pulido, se produce fricción entre el medio de pulido y el producto, generando fuerza de corte. Las partículas sólidas del producto cortadas de la superficie del producto se incrustarán en la superficie de la oblea.

Dado que las dos situaciones anteriores pueden causar contaminación de la superficie de la oblea y conducir a defectos como arañazos, generalmente usamos un limpiador de cepillos para limpiar la superficie de la oblea después de CMP (pulido químico mecánico).

El limpiador de cepillos utiliza material PVA (alcohol polivinilico), que es suave y no arañará la superficie de la oblea mientras limpia eficazmente varias partículas en la superficie de la oblea. Además, también recomendamos reemplazar la almohadilla de pulido regularmente para reducir la contaminación de las obleas.