يعد التسوية النانوية والمعالجة الخالية من الأضرار للركائز الخزفية الدقيقة إجراءً حيويًا للتحكم في توصيل الحرارة والعزل واستقرار الأجهزة في عملية تعبئة أشباه الموصلات. تتميز المواد الخزفية الصلبة الهشة مثل أكسيد الألومنيوم وكربيد السيليكون ونتريد الألومنيوم بمعدل تحمل ميكانيكي منخفض للغاية. تعتمد معدات الطحن والتلميع التقليدية على القطع الفيزيائي الصارم، مما يؤدي بسهولة إلى ظهور شقوق دقيقة خفية وإجهادات متبقية وخدوش غير منتظمة على أسطح القطع. ولا يمكنها تحقيق دقة المرآة النانوية، كما تؤثر سلبًا على نتائج الطلاء والالتصاق والتعبئة اللاحقة، مما يقلل من استقرار عمل المكونات الإلكترونية. لمعالجة نقاط الضعف في المعالجة الدقيقة للخزف الصلب الهش، أصبحت آلة تلميع CMP للخزف المعدات الأساسية المتخصصة لتشطيب المواد الخزفية الفائقة الجودة بفضل تقنية التلميع الميكانيكية الكيميائية المركبة.