يعد ترقيق الركائز الخزفية من نيتريد الألومنيوم ومعالجتها بدقة عالية خطوة حاسمة لضمان كفاءة تبديد الحرارة وموثوقية التغليف لأجهزة أشباه الموصلات القدرة. تتميز هذه المادة الخزفية الصلبة الهشة عالية التوصيل الحراري بمعدل تسامح معالجة منخفض للغاية. تعاني عمليات الطحن أحادية الجانب التقليدية من عدم توازن القوى وأخطاء تحديد المواقع الكبيرة الناتجة عن التثبيت المتعدد. تظهر الركائز فائقة الرقة المعالجة عيوبًا شائعة مثل الانحناء وعدم تجانس السماكة والشقوق الدقيقة السطحية، مما يؤثر بشكل مباشر على تجانس التوصيل الحراري وعمر خدمة الأجهزة. قامت
آلة طحن مزدوجة الوجه لنيتريد الألومنيوم بتحسين هيكل العمليات بشكل مستهدف لحل مشاكل الدقة ومعدل النجاح في المعالجة الدقيقة لركائز نيتريد الألومنيوم.
تعتمد المعدات هيكل طحن متزامن ثنائي الاتجاه بقرص علوي وسفلي، مما يغير نمط المعالجة التقليدي المتقطع أحادي الجانب، ويمكنها إنجاز الطحن والتسوية المتزامنة لجانبي الركيزة في دورة واحدة. أثناء المعالجة، تتلقى القطع قوى متجانسة ومتناظرة من الجانبين، ولا تحتاج إلى القلب اليدوي أو إعادة المعايرة والتثبيت، مما يستبعد جذريًا مشاكل تراكم الإجهادات وتشوه الأسطح وتجاوز فروق السماكة، ويضمن بدقة المؤشرات الدقيقة الأساسية لتسوية السطح والتوازي للركائز.
تضم المعدات نظام نقل كوكبي عالي الدقة ووحدة تحكم ذكية مغلقة الحلقة للضغط، وتدعم الضبط الدقيق للمعايير، وتوفر حلول طحن مخصصة لركائز نيتريد الألومنيوم ذات الأحجام والسماكات المختلفة. تعتمد عملية إزالة طبقات دقيقة منخفضة الإجهاد، وتتخلى عن عمليات القطع الخشنة، مما يزيل بكفاءة الطبقات المتبقية من التلبيد والعيوب السطحية، مع الحفاظ الكلي على البنية الشبكية الخزفية، ويمنع عيوب المعالجة مثل تشقق الحواف والأضرار الدقيقة، ليلبي متطلبات المعالجة الدقيقة لمختلف أحجام ركائز نيتريد الألومنيوم.
تتميز الركائز المعالجة بالسماكة المتجانسة والأسطح المسطحة الخالية من الإجهادات، وتحافظ على خصائصها الأصلية العالية في التوصيل الحراري والعزل الكهربائي دون أي فقد ناتج عن المعالجة، مما يلبي المتطلبات الصارمة لعمليات الطلاء والالتصاق والتغليف الدقيق اللاحقة. تتناسب المعدات بمرونة مع تصنيع العينات والإنتاج الضخم، وتتميز بدقة معالجة مستقرة وتجانس عالي للدفعات. إنها تحل بشكل فعال مشاكل الصناعة المتمثلة في صعوبة معالجة الركائز الخزفية فائقة الرقة من نيتريد الألومنيوم وانخفاض معدل النجاح، وتقدم حلًا تقنيًا فعالًا وموثوقًا للمعالجة الدقيقة لركائز تبديد الحرارة لأشباه الموصلات.