Утончение и высокоточная обработка керамических подложек из нитрида алюминия являются ключевым этапом для обеспечения эффективности теплоотвода и надежности упаковки полупроводниковых силовых приборов. Данный высокотеплопроводный твердый и хрупкий керамический материал имеет крайне низкую допустимую погрешность обработки. Традиционная односторонняя шлифовка сопровождается неравномерным распределением нагрузки и большими погрешностями позиционирования при многократной фиксации. Обработанные сверхтонкие подложки часто имеют коробление, неравномерную толщину и поверхностные микротрещины, что напрямую влияет на равномерность теплопроводности и срок службы приборов.
двусторонняя шлифовальная машина для нитрида алюминия проходит целевую оптимизацию технологической структуры, решая проблемы точности и выхода годной продукции при прецизионной отделке подложек из нитрида алюминия.
Оборудование использует конструкцию синхронной встречной шлифовки верхнего и нижнего дисков, заменяя традиционный поэтапный односторонний метод обработки, и позволяет за один проход выполнять синхронную шлифовку и выравнивание обеих сторон подложки. В процессе обработки заготовки получают равномерную симметричную нагрузку с двух сторон без ручного переворота и повторной калибровки фиксации. Это полностью исключает накопление напряжений, деформацию поверхности и превышение допусков по толщине, обеспечивая высокую точность плоскостности и параллельности подложек.
Установка оснащена высокоточной планетарной трансмиссией и интеллектуальной замкнутой системой регулировки давления с возможностью тонкой настройки параметров, что позволяет подбирать индивидуальные режимы шлифования для подложек разного размера и толщины. Использование низконапряженной технологии послойного мелкодисперсного снятия материала вместо грубой резки эффективно удаляет остаточные слои после спекания и поверхностные дефекты, сохраняя целостность керамической кристаллической решетки и предотвращая сколы краев и микроповреждения при обработке, подходя для прецизионной обработки подложек из нитрида алюминия любых размеров.
Обработанные подложки имеют равномерную толщину, ровную поверхность без остаточных напряжений, сохраняют исходную высокую теплопроводность и электроизоляционные свойства без потерь при обработке, полностью соответствуя строгим требованиям последующего нанесения покрытий, склеивания и прецизионной упаковки. Оборудование подходит как для опытного производства образцов, так и для массового выпуска, обеспечивая стабильную точность обработки и высокую однородность партий. Оно эффективно решает отраслевые проблемы сложной обработки и низкого выхода годной продукции сверхтонких керамических подложек из нитрида алюминия, предоставляя эффективное и надежное технологическое решение для прецизионной обработки полупроводниковых теплоотводящих подложек.
English
русский
한국어
Deutsch
español
italiano
العَرَبِيَّة