Con la rapida evoluzione dei chip semiconduttori verso leggerezza e alta integrazione, lo spessore dei wafer si è ridotto fino a cento o dieci micrometri. I substrati ultrasottili sono facilmente soggetti a incurvamenti, deformazioni e microfratture causate dalle tensioni meccaniche. Le tradizionali apparecchiature di assottigliamento a contatto, azionate da cuscinetti e guide meccaniche, presentano vibrazioni per attrito e pressioni di contatto irregolari, generando elevate tensioni residue e scarsa uniformità di spessore nei wafer lavorati, non conformi ai requisiti dei semiconduttori di potenza high-end e dei processi di confezionamento avanzato. La
macchina di assottigliamento a mandrino pneumatico è diventata l’apparecchiatura fondamentale per l’assottigliamento preciso dei wafer ultrasottili.
Il dispositivo adotta la tecnologia di mandrino aerostatico e guide pneumatiche senza contatto, funzionante grazie a una pellicola d’aria ad alta pressione uniforme che elimina completamente le strutture di attrito meccanico tradizionali. Il funzionamento è privo di vibrazioni, usure e interferenze di tensione meccanica. Il riferimento di movimento ultra stabile previene radicalmente difetti di lavorazione come scheggiature dei bordi, danni superficiali e distorsioni reticolari, risultando particolarmente adatto per l’assottigliamento preciso di wafer di silicio e carburo di silicio di grandi dimensioni e spessore ultrasottile.
Dotata di un sistema di rilevazione a ciclo chiuso ad alta precisione e controllo intelligente a pressione costante, la macchina monitora in tempo reale le variazioni di spessore dei wafer e regola dinamicamente velocità di levigatura e volume di rimozione del materiale, garantendo una rimozione microscopica, stratificata e uniforme. Corregge efficacemente le deviazioni di spessore complessive e ottimizza parallelismo e planarità dei wafer. I wafer lavorati presentano superfici uniformi e piatte con uno strato di danno sottosuperficiale estremamente ridotto, offrendo una base di substrato di alta qualità per i successivi processi precisi di lucidatura, incollaggio e rivestimento.
Rispetto alle tradizionali apparecchiature di assottigliamento, la macchina di assottigliamento a mandrino pneumatico vanta un’elevata stabilità di precisione, lunga durabilità e alta ripetibilità dei processi. Non subisce decadimento di precisione nella produzione seriale a lungo termine e incrementa notevolmente la resa di lavorazione dei wafer. È compatibile con l’assottigliamento preciso di wafer semiconduttori di vari formati, adatta sia per la prototipazione di laboratorio che per le linee di produzione automatizzata. Grazie alle prestazioni core senza tensione, ultra stabili e ad alta precisione, promuove continuamente l’aggiornamento dei processi di produzione precisa dei semiconduttori high-end.