تحديات التحكم عالي الدقةعند معالجة ألواح الويفر فائقة الرقة (<50μm)، من السهل إنتاج التشوهات بسبب الإجهاد، وتجاوز تقلبات الانحناء عادةً القيم العتبية. تمتلك المواد الصلبة الهشة صلابة عالية وهشاشة، لذا يسبب الطحن بسهولة الشقوق الدقيقة وتكسير الحواف، مما يجعل من الصعب موازنة كفاءة المعالجة وجودة السطح.

عقبات الاستقرار والموثوقية للمعداتتميل عجلات الطحن إلى التعرض للتشوه في المظهر أثناء التشغيل طويل الأمد. إن عدم كفاية دقة خوارزميات التعويض في الوقت الحقيقي يؤثر على اتساق المعالجة. تسبب طرق الإمساك التقليدية بالفراغ أو الميكانيكية بسهولة تشوه وتلف ألواح الويفر فائقة الرقة، مما يحد من تحسين الدقة. تؤثر العوامل البيئية مثل تقلبات درجات الحرارة والاهتزازات بشكل كبير على دقة تنسيق ثنائي المحاور. تنتظر تقنية المعالجة المستقرة في البيئات القصوى اختراقًا.

ابتكار تقنية التحكم عالي الدقةاعتماد نظام التغذية الراجعة المغلقة لمحرك الخدمة + الحمِسْطَرَّةُ الحَدِيد، لتحقيق دقة تزامن ±0.1% في سرعة الدوران والضغط لثنائي المحاور. الجمع مع الخوارزميات التكيفية للتحكم المستقر في المسطحة ضمن 2μm. تكامل وحدة قياس السمك بالتداخل الليزر، والتصحيح الديناميكي لكمية الطحن من خلال خوارزميات PID، لتقليل انحراف TTV إلى ≤1μm.تطوير عملية ثلاثية المراحل "الطحن الخشن - الطحن الدقيق - التلميع" للمواد الصلبة الهشة. الجمع مع عجلات طحن الماس فائقة الدقة والوسائد الطحن المرنة، لتقليل معدل العيوب.

ترقية هيكل المعدات ووظائفهتجهيز نظام الكشف عن المظهر السطحي على الخط، لمراقبة تآكل عجلات الطحن في الوقت الحقيقي، وتصليحها تلقائيًا، وتعديل زاوية العجلات، لضمان الاستقرار طويل الأمد. اعتماد تقنية الإمساك بالطفو الهوائي أو الامتزاز الكهروستاتيكي، لتوزيع قوة الإمساك بشكل موحد وتجنب تلف ألواح الويفر فائقة الرقة. يتحكم النظام المتكامل لدرجة الحرارة والرطوبة الثابتة ومنصة تخفيف الاهتزازات في تقلبات درجة الحرارة ضمن ±0.5℃ ووسعة الاهتزازات ضمن 2μm، لتقليل التدخل البيئي.

اختراقات في المكونات الأساسية والخوارزمياتتعزيز الموضعية للمكونات الأساسية مثل وحدات المغزل العائمة بالهواء والبراغي الكروية الدقيقة، لتعزيز أساس الدقة الميكانيكية. إدخال خوارزميات التعلم الآلي، وتحسين تجميع معلمات العملية بناءً على كميات كبيرة من البيانات. تحقيق المعالجة التكيفية لألواح الويفر بمواصفات ومواد مختلفة، لتحسين اتساق الدقة.