Что такое процесс химико-механической полировки (CMP)?

2025-09-15 · Новости

Таким образом, химико-механическая полировка (CMP) — это процесс глобальной планеризации, сочетающий химическое травление и механическую полировку. Это ключевой процесс в производстве УLSI (ультрабольших интегральных схем), станок включает 5 основных систем и может полировать металлические, диэлектрические и полупровод……

Какие основные компоненты входят в состав шликера для ХМП (химико-механического полирования)?

2025-09-10 · Новости

При этом абразивы в основном выполняют функцию удаления оксидов и металлических остатков с поверхности кремниевых пластин; буферные растворы в основном регулируют значение pH и поддерживают стабильность жидкости; полировочные вещества в основном обеспечивают смазку и снижение трения на поверхности; а добавки в основном……

Сколько технологий склеивания используется для ультратонких полупроводниковых пластин до их тонкой шлифовки?

2025-09-08 · Новости

Как правило, методы соединения включают постоянное соединение и временное соединение/развязывание; Постоянная связь далее делится на прямую связь без промежуточного слоя и косвенную связь с промежуточным слоем. Это основные методы соединения пластин в полупроводниковой промышленности. Соответствующий метод связывания д……

Как влияет процесс TSV на полирование пластины (полупроводниковой)?

2025-09-04 · Новости

Чтобы обеспечить надлежащую полировку CMP медных пластин в конструкциях TSV, оборудование должно быть оснащено обнаружением конечной точки EPD и головкой зонированной подушки воздуха.

Как бороться с трудными для удаления остаточными частицами на поверхности пластины (полупроводниковой) после полирования?

2025-09-01 · Новости

После полировки пластинки остатки частиц от абразивных материалов для полировки шламы и встроенных твердых веществ, генерируемых трением (которые вызывают загрязнение и царапины), обычно очищаются с помощью чистильника для щетки из PVA-материала после CMP, а также рекомендуется регулярная замена полирующей подложки для……

7.1 День армии, всегда следите за партией!

2024-04-16 · Новости

Столетняя буря и буря идут вместе с великолепными горами и реками, чтобы отпраздновать 100 - летие со дня основания Коммунистической партии Китая.

Какова функция облицовки керамического шлифовального станка?

2024-02-24 · Новости

Почему нам нужно добавлять подкладку внутри керамических шлифовых машин? Потому что некоторые керамические шлифовальные машины могут испытывать повышение температуры или загрязнение сырья во время долгосрочной работы, что приводит к высокому децибельному шуму и другим проблемам! Так что

Проблемы и решения при шлифовке пластин Ge

1899-12-10 · Новости

Во время процесса шлифовки пластин Ge из-за физико-химических свойств материала本身 (например, низкая твердость, высокая хрупкость, склонность к окислению, чувств……