تعد السيراميكات الوظيفية مثل أكسيد الألومنيوم ونتريد الألومنيوم وكربيد السيليكون مواد أساسية لركائز تعبئة أشباه الموصلات، وأجهزة الطاقة الجديدة، وأجهزة الاستشعار الضوئية، بفضل خصائصها المتمثلة في الموصلية الحرارية العالية، والعزل الكهربائي الممتاز، والمقاومة للحرارة العالية، والتمدد الحراري المنخفض. تتميز المواد السيراميكية بالصلابة العالية والهشاشة الكبيرة، ولا يمكن لعمليات الطحن والتلميع التقليدية تحقيق التسوية إلا بمقياس المايكرون، مما يترك خدوشًا دقيقة وضغوطًا متباينة ونتوءات مجهرية على السطح، ولا يلبي معايير الأسطح المرآة الخالية من العيوب المطلوبة لتعبئة الرقائق المتطورة. لذلك أصبحت آلة تلميع السيراميك CMP المعدات الأساسية للمعالجة الدقيقة الفائقة للسيراميك.