معدن صقل CMP الخزفي هو معدن أساسي للمعالجة فائقة الدقة. بفضل التأثير التعاوني لل식 corroзия الكيميائية والصقل الميكانيكي، يتحقق تسطيع السطح لمواد الخزف على مستوى الذرة، مما يسمح له بمثل دور لا يمكن استبداله في إنتاج منتجات الخزف العالية الجودة.

يمكن للمعدن معالجة مجموعة متنوعة من مواد الخزف عالية الأداء بدقة، بما في ذلك خزفات الأكسيد مثل الأكسيد الألومينيوم (Al₂O₃) والأكسيد الزركوني (ZrO₂)، وكذلك خزفات غير الأكسيد مثل نتريد السيليكون (Si₃N₄) ونتريد الألومينيوم (AlN). تتبع عملية المعالجة مبدأ التعاون الدقيق: السوائل الصقلية المُكيفة لخصائص المواد (مثل عصارة الماس وسائل صقل السيليكا الغازية) تُؤثر بال식 corroзия الكيميائية لضعف قوة ارتباط الذرات على سطح المادة؛ وفي نفس الوقت، يستخدم الأقراص الصقلية عالية الدقة للصقل الميكانيكي لإزالة طبقة الت식 والطبقة المعيبة على السطح. من خلال التحكم في الحلقة المغلقة لضغط الصقل (0.1-0.5 ميجاباسكال)، سرعة دوران قرص الصقل (30-100 دورة في الدقيقة) وتدفق سائل الصقل (1-5 لتر في الدقيقة)، يضمن المعدن أن خشونة سطح المادة بعد المعالجة ≤0.01 ميكرومتر واتساع السطح ≤0.3 ميكرومتر، مما يلبي متطلبات التطبيقات الدقيقة.

تغطي تطبيقاته الصناعية مجالات واسعة مثل المعلومات الإلكترونية، أشباه الموصلات، الطاقة المتجددة، والطيران والفضاء. في مجال المعلومات الإلكترونية، يُستخدم لصقل وسائط الفلترات 5G الخزفية ولوحات خلفيّة الهواتف المحمولة الخزفية، لضمان كفاءة نقل الإشارة والاستقرار الهيكلي. في مجال أشباه الموصلات، يُكيف لمعالجة فائقة الدقة لقواعد التغليف الخزفية وحاملات الأوراق الص硅انية (الويفر)، مما يحسن أداء تشحيم الرقائق والدقة التغليفية. في مجال الطاقة المتجددة، يُطبق لصقل ألواح البوابة العازلة الخزفية ومفصولات البطارية الخزفية، لتحسين خصائص الأجهزة في تحمل الجهد العالي والدرجة الحرارية العالية. في مجال الطيران والفضاء، يُستخدم لمعالجة مقومات الغلق الخزفية لمحركات الطيران والفضاء ومكونات المستشعرات الخزفية، لضمان الموثوقية في التشغيل في بيئات شديدة.

ينعكس دوره المركزي في: إزالة العيوب مثل الشقوق الدقيقة والمقاعد على سطح مواد الخزف من خلال تقنية الصقل فائقة الدقة، تحسين القوة الميكانيكية لالمادة جودة السطح؛ وفي نفس الوقت، ضمان الدقة الأبعادية والتوافق في التجميع لمكونات الخزف، وتقديم دعم معالجي أساسي لترقية أداء منتجات العالية الجودة في الصناعات السفلية، وتشجيع التطبيق العميق لمواد الخزف في مجال التصنيع الدقيق.