Керамическая CMP-полировальная машина — это ключевое оборудование для сверхточной обработки. Благодаря синергетическому эффекту химического коррозия и механического шлифования оно достигает атомарного выравнивания поверхности керамических материалов, играя незаменимую роль в производстве высококачественной керамики.

Оборудование может точно обрабатывать различные высокопроизводительные керамические материалы, включая оксидные керамики (алюминиевый оксид Al₂O₃, циркониевый оксид ZrO₂ и другие) и неоксидные керамики (нитрид кремния Si₃N₄, нитрид алюминия AlN и другие). Процесс обработки основан на принципе точной синергии: полировочные жидкости, адаптированные к свойствам материалов (например, алмазная суспензия, коллоидная кремнистокислая полировочная жидкость), оказывают химическое коррозионное воздействие, ослабляя атомные связи на поверхности материала; одновременно высокоточные шлифовальные диски осуществляют механическое шлифование для удаления коррозионного и дефектного слоев. Благодаря замкнутому контролю шлифовального давления (0.1-0.5МПа), скорости вращения полировочного диска (30-100об/мин) и расхода полировочной жидкости (1-5л/мин), оборудование гарантирует, что шероховатость поверхности обработанного материала ≤0.01мкм, а плоскость ≤0.3мкм, соответствующие требованиям высокоточных приложений.

Его промышленное применение охватывает широкие области: электронная информация, полупроводники, новые энергетические источники, аэрокосмос и другие. В сфере электронной информации оно используется для полировки керамических диэлектриков 5G-фильтров и керамических задних панелей мобильных телефонов, обеспечивая эффективность передачи сигнала и структурную стабильность. В области полупроводников адаптировано для сверхточной обработки керамических упаковочных субстратов и кремниевых носителей, повышая теплоотдачу чипов и точность упаковки. В сфере новых энергетических источников применяется для полировки керамических изолирующих затворных пластин и керамических сепараторов батареек, усиливая устойчивость устройств к высокому напряжению и температуре. В аэрокосмической отрасли используется для обработки керамических уплотнителей авиационных двигателей и керамических компонентов сенсоров, гарантируя надежность эксплуатации в экстремальных условиях.

Основная функция заключается в следующем: посредством технологии сверхточной полировки устраняются дефекты поверхности керамических материалов (микротрещины, порезы и другие), повышаются механическая прочность и качество поверхности материала; одновременно обеспечиваются размерная точность и сборочная совместимость керамических компонентов, предоставляя ключевую технологическую поддержку для модернизации производительности высококачественных продуктов в низкоточных отраслях и способствуя углубленному применению керамических материалов в сфере высокоточной механики.