تتميز الركائز السيراميكية الوظيفية بصلابة عالية وهشاشة كبيرة، وتعد مادة أساسية لتغليف أشباه الموصلات والأجهزة الضوئية الإلكترونية. تتطلب عمليات الطحن الأحادية الجانب التقليدية قلب القطع بشكل متكرر، مما يؤدي إلى انخفاض الكفاءة وكبيرة أخطاء تحديد الموضع. كما تسبب عدم تجانس توزيع القوى على الركيزة، مما يؤدي إلى الانحناء واختلاف السماكة والشقوق الدقيقة، مما يعيق تلبية متطلبات الإنتاج الضخم الدقيق للركائز السيراميكية فائقة الرقة.
تعتمد
آلة الطحن المزدوج الجانب للسيراميك هيكل طحن متزامن مزدوج القرص، حيث تكتمل عملية طحن الجانبين للركيزة في عملية تثبيت واحدة، مما يلغي عمليات القلب المتكرر وإعادة المعايرة الثانوية. تتيح المعدات التحكم الدقيق في ضغط الطحن وسرعة الدوران ومعدل التغذية، لضمان تجانس كمية الطحن على الجانبين. تعمل على موازنة إجهادات المعالجة بشكل فعال، وتعالج جذريًا مشكلة انحناء الركائز، وتتحكم بدقة في تفاوت السماكة والتوازي لكل قطعة وكل دفعة إنتاجية.
تتناسب المعدات مع أنواع السيراميك الصلب الهش مثل أكسيد الألومنيوم، ونتريد الألومنيوم، وكربيد السيليكون. وباستخدام مواد كاشطة متخصصة وعمليات دقيقة، تقل بشكل كبير من عيوب المعالجة مثل تشقق الحواف والكسر والأضرار تحت السطحية. تتميز الركائز بعد المعالجة بسطح مستو ودقة مستقرة، ولا تحتاج إلى تصليح ثانوي، ويمكن إدخالها مباشرة في عمليات التلميع والطلاء والتغليف اللاحقة. تناسب أعمال تطوير العينات والإنتاج الضخم، وتكسر بشكل فعال قيود المعالجة الدقيقة لتنحيف الركائز السيراميكية.
