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웨이퍼 그라인딩 머신 출하 후, 고객의 정상 운전을 보장하기 위해 완벽한 애프터서비스를 제공합니다.
웨이퍼 그라인딩 머신 조정 교육 시, 교육 내용을 모듈별로 나누어 전달합니다. 기본 운전 모듈에는 장비 전원 온 자가 진단 과정, 연마 매개변수(연마 압력, 회전 속도, 시간) 설정 방법, 웨이퍼 클램핑 및 위치 지정 기술, 그리고 비상 정지 버튼 운전 시나리오가 포함됩니다.전문 조정 모듈에서는 연마 휠 평탄도 교정, 다양한 웨이퍼 소재에 맞는 연마 휠 입도 매칭 조정 로직, 가장자리 과연마 예방 및 수정 방안을 설명해야 합니다. 고장 진단 모듈은 주로 일반 경보(예: 압력 이상, 웨이퍼 오프셋) 식별 및 처리, 그리고 장비 핵심 부품(예: 주축, 지그) 상태 검사 방법을 교육하는 데 중점을 둡니다.교육 과정은 실습 시연과 결합해야 하며, 고객 기술 인력이 일상 조정 및 간단한 고장 처리 독립적으로 완료할 수 있도록 보장합니다.
웨이퍼 그라인딩 머신 정비는 «정기 검사, 정밀 유지보수, 미연에 방지» 원칙을 준수해야 합니다. 일상 정비에는 매 사용 후 연마 휠 및 진공 흡착판 표면의 웨이퍼 파편 청소, 그리고 유압 시스템의 오일 레벨 및 압력 검사가 포함됩니다.주간 정비는 연마 휠 마모 상태 검사, 장비 내부 분진 청소, 연마 매개변수 정밀도 교정에 중점을 둡니다. 월간 정비는 주축 윤활 유지보수, 전기 회로 연결 상태 검사, 그리고 유압 오일 교체를 포함합니다.장기 정비 측면에서, 매 6개월마다 연마 휠 평탄도 검측 및 복구를 수행해야 하며, 매년 전면적인 장비 정밀도 교정을 진행하고 노후된 밀봉 부품 및 소모품을 교체합니다.
