리튬탄탈레이트 웨이퍼는 표면 탄성파 필터와 광 변조기 제조에 사용되는 핵심 압전 결정 소재입니다. 본 소재는 높은 경도와 취성을 동시에 가지며 특수한 결정 구조를 갖고 있어 가공 균일성과 응력 제어에 매우 엄격한 기준이 요구됩니다. 기존 가공 장비는 대부분 단면 분할 연삭 공정을 사용하여 공정이 복잡하고 생산 효율이 낮습니다. 수동 뒤집기 및 보정 작업 시 정밀 오차가 발생하여 배치별 웨이퍼 두께가 불균일하고 양품률이 저하되어 기업의 대량 고정밀 생산 요구를 충족할 수 없습니다.
리튬탄탈레이트 양면 연삭기는 결정 웨이퍼 양산 정밀 가공의 핵심 장비로 자리 잡았습니다.
본 장비는 기존 단면 가공 방식을 혁신하고 양면 동시 일체형 연삭 공정을 채택하여 웨이퍼 전후면의 정밀 평탄화 및 여유 제거를 한 번에 완료합니다. 수동 뒤집기, 재고정 클램핑 등 복잡한 공정을 생략하여 가공 흐름을 크게 간소화하고 전체 생산 효율을 향상시킵니다. 정밀 유성 전동 구조를 기반으로 가공물의 연삭 운동 궤적이 균일하고 양면 응력이 항상 균일하게 유지되어 기존 단면 가공으로 발생하는 응력 축적, 웨이퍼 휨, 단면 마모 등 양산 문제를 근본적으로 해결합니다.
지능형 수치 제어 시스템을 탑재하여 리튬탄탈레이트 결정의 소재 특성에 맞춰 연삭 압력, 회전 속도, 가공 시간 등 핵심 파라미터를 정밀 설정할 수 있으며, 공정 파라미터 저장 및 재현 기능으로 모든 배치 웨이퍼의 가공 기준을 고도로 통일합니다. 고강성 본체와 방진 구조가 장비 가동 진동으로 인한 모서리 깨짐 및 미세 균열 결함을 차단하며, 웨이퍼 표면의 절삭 손상층을 효율적으로 제거하고 결정 고유의 압전 및 광학 특성을 최대한 보존합니다.
기존 가공 장비에 비해 본 장비는 가공 정밀도가 높고 양산 안정성이 우수하며 공정 효율이 뛰어난 다중 장점을 갖춥니다. 가공 완료된 리튬탄탈레이트 웨이퍼는 두께가 균일하고 평면도가 우수하며 잔류 응력이 없어 후속 모든 정밀 공정에 완벽하게 적합합니다. 다양한 크기의 웨이퍼 시제품 개발과 대량 생산을 전면 지원하며, 광전 통신 및 정밀 전자 분야 기업의 효율적이고 표준화된 정밀 양산 작업을 안정적으로 지원합니다.
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