تتميز سيراميك نيتريد الألومنيوم بموصلية حرارية عالية، وعزل كهربائي فائق، ومعامل تمدد حراري منخفض، مما يجعلها مادة ركيزة أساسية لتبديد الحرارة في أجهزة أشباه الموصلات القوية، ووحدات التردد اللاسلكي للجيل الخامس، ووحدات IGBT للطاقات المتجددة. ومع ذلك، تتميز المادة بالصلابة والهشاشة وضعف مقاومة الصدمات، ويؤدي عملية الصقل الأحادية الجانب التقليدية إلى توزيع غير متساوٍ للإجهاد، مما يسبب بسهولة انحناء الركيزة وتشقق الحواف والشقوق المجهرية السطحية وتجاوز انحرافات السمك للحدود المسموح بها. ولا تستوفي هذه العمليات معايير التوازي الميكروي والمعالجة الخالية من العيوب للركائز الإلكترونية المتطورة، لذلك أصبحت ماكينة الصقل الثنائي لنيتريد الألومنيوم المعدات المتخصصة الأساسية للتشطيب الدقيق للركائز الخزفية من نيتريد الألومنيوم.