La ceramica al nitruro di alluminio presenta eccellenti caratteristiche di alta conducibilità termica, elevato isolamento elettrico e basso coefficiente di dilatazione termica, costituendo il materiale base dei substrati di dissipazione termica per dispositivi di potenza a semiconduttore, moduli a radiofrequenza 5G e moduli IGBT per le energie rinnovabili. Essendo un materiale duro e fragile con scarsa resistenza agli urti, il tradizionale processo di levigatura unilaterale genera sollecitazioni disomogenee, causando facilmente incurvamenti del substrato, scheggiature dei bordi, microfratture superficiali e deviazioni eccessive di spessore, non rispettando gli standard di parallelismo micrometrico e lavorazione priva di danni dei substrati elettronici high-end. La
macchina di levigatura bilaterale al nitruro di alluminio è diventata quindi l’attrezzatura dedicata fondamentale per la finitura precisa dei substrati ceramici al nitruro di alluminio.
Ottimizzata appositamente per i materiali ceramici fragili al nitruro di alluminio, la macchina adotta una struttura di levigatura sincrona bilaterale planetaria di alta precisione. I dischi di levigatura superiore e inferiore operano in sincronia a velocità costante, garantendo una pressione e una smerigliatura uniformi su entrambi i lati del pezzo ed eliminando alla radice le sollecitazioni meccaniche e le deformazioni causate dalla compressione unilaterale. Diversamente dalle normali macchine di levigatura metallica con ampio margine di asportazione, questa unità adotta un processo di rimozione microscopica controllata, in grado di eliminare con precisione strati irregolari di sinterizzazione, bave e segni di lavorazione, prevenendo difetti come fratture fragili, delaminazioni e microdanni.
Dotata di struttura rigida ammortizzata e sistema di regolazione della pressione a ciclo chiuso, la macchina presenta un oscillazione del disco operativo estremamente ridotta. Regola in modo adattativo velocità di rotazione, pressione di levigatura e durata della lavorazione in base a spessore e durezza dei substrati al nitruro di alluminio. Grazie a materiali di consumo specifici per ceramica e un sistema di filtrazione pulito, evita graffi causati da particelle impure sulla superficie del substrato. Dopo la lavorazione, i substrati presentano planarità e parallelismo stabili, deviazioni di spessore minime tra un pezzo e l’altro e una superficie uniforme e fine.
La macchina svolge in un’unica fase multipli processi: livellamento bilaterale, finitura dimensionale precisa e omogeneizzazione superficiale, garantendo un’efficienza di lavorazione molto superiore rispetto alle tradizionali macchine unilaterali. È adatta sia per la produzione di campioni in piccoli lotti sia per la produzione automatizzata di serie. I substrati al nitruro di alluminio lavorati sono privi di sollecitazioni residue e presentano un’elevata uniformità di precisione, migliorando efficacemente l’efficienza di dissipazione termica e la stabilità di funzionamento dei dispositivi. Ampiamente utilizzata nei settori dell’optoelettronica, dei semiconduttori e della ceramica di precisione per le energie rinnovabili, è un’attrezzatura essenziale per la lavorazione precisa dei substrati al nitruro di alluminio di fascia alta.
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