Керамика на основе нитрида алюминия обладает высокой теплопроводностью, отличными электроизоляционными свойствами и низким коэффициентом теплового расширения, являясь основным материалом теплоотводящих подложек для полупроводниковых силовых приборов, 5G радиочастотных модулей и энергетических IGBT-модулей. Данный материал является твердым и хрупким с низкой ударной прочностью. Традиционная односторонняя шлифовка вызывает неравномерное распределение нагрузки, что провоцирует коробление подложек, сколы краев, поверхностные микротрещины и превышение допусков по толщине, не позволяя соблюдать микронные стандарты параллельности и бездефектной обработки высококачественных электронных подложек.
Двусторонняя шлифовальная машина для нитрида алюминия стала специализированным основным оборудованием для тонкой обработки керамических подложек из нитрида алюминия.
Оптимизированная специально для хрупкой керамики нитрида алюминия, машина оснащена прецизионной планетарной системой синхронной двусторонней шлифовки. Верхний и нижний шлифовальные диски работают синхронно с постоянной скоростью, обеспечивая равномерное нагружение и обработку обеих поверхностей заготовок и исключая механические напряжения и деформации от одностороннего сжатия. В отличие от обычных металлошлифовальных машин с большим съемом материала, данная установка использует контролируемую микрообработку, позволяющую точно удалять неровные слои после спекания, заусенцы и следы механической обработки, предотвращая хрупкое разрушение, расслоение и микроповреждения.
Оборудование имеет высокожесткую амортизированную конструкцию корпуса и замкнутую систему регулирования давления, обеспечивая минимальное биение дисков при работе. Параметры скорости вращения, давления шлифовки и длительности обработки автоматически адаптируются под толщину и твердость подложек из нитрида алюминия. Использование специализированных расходных материалов для керамики и системы очистной фильтрации исключает царапины от твердых частиц на поверхности подложек. Обработанные детали демонстрируют стабильную плоскостность и параллельность, минимальные расхождения по толщине между изделиями и однородную тонкую поверхность.
Машина выполняет за один цикл выравнивание обеих поверхностей, точную доводку размеров и гомогенизацию поверхности, обеспечивая значительно более высокую производительность по сравнению с односторонним оборудованием. Она подходит для мелкосерийного изготовления образцов и автоматизированного массового производства. Подложки из нитрида алюминия после обработки не имеют остаточных напряжений и отличаются высокой стабильностью геометрических параметров, повышая теплоотдачу и надежность работы электронных компонентов. Оборудование широко используется в оптоэлектронике, полупроводниковой промышленности и прецизионной керамике новой энергетики, являясь незаменимым инструментом для точной обработки высококачественных подложек из нитрида алюминия.
English
русский
한국어
Deutsch
español
italiano
العَرَبِيَّة