구조적 차별화는 이축 모델의 가장 핵심적인 기술 특징입니다. 본 장비는 이축 스핀들 동기 협업 연삭 구조를 채택하여 가공 과정에서 연삭 힘이 양방향으로 균형 있게 상쇄되며, 단축 장비의 편측 하중으로 발생하는 응력 집중 문제를 방지합니다. 8인치, 12인치 대형 웨이퍼 및 마이크로미터급 초박형 웨이퍼 가공 시 웨이퍼 휨, 가장자리 파손, 두께 편차 불균일 등의 고질적 문제를 효과적으로 억제하여 웨이퍼 전체의 두께 균일성과 평면도 정밀도를 크게 높이고, 고급 웨이퍼의 엄격한 공정 공차 기준을 충족합니다.
본 장비는 조삭·정삭 일체형 복합 가공을 실현하며, 이축의 업무 분장이 명확하고 공정이 연속적으로 이어져 인력에 의한 2차 클램핑 및 위치 조정이 필요 없습니다. 이는 웨이퍼 박막화의 전체 공정 흐름을 단축하고 양산 가공 효율을 높일 뿐만 아니라, 다중 클램핑으로 인한 위치 오차를 완전히 제거하여 대량 가공의 반복성과 안정성을 현저히 개선해 산업화 대규모 정밀 생산 현장에 적합합니다.
경취성 소재 가공 분야에서 우위가 특히 두드러집니다. 실리콘 웨이퍼, 탄화규소, 질화갈륨, 사파이어 등 고경도 취성 소재에 대해 이축 균속 미세 이송 방식은 저응력 소재 제거를 실현하여 표면 손상층 깊이를 효과적으로 줄이고, 웨이퍼 기재의 결정 구조 완전성을 최대한 보존합니다. 이는 제품 수율을 높이고 후속 연마, 식각 공정의 가공 부담을 감소시킵니다.
또한
이축 웨이퍼 박막화 기계는 전체 장비의 진동 억제 능력이 우수하고 작동 상태가 안정적이며, 장기 연속 작업 시 정밀도 저하 현상이 거의 없습니다. 구조, 정밀도, 효율, 수율의 종합적인 우위를 바탕으로 첨단 반도체 패키징, 신에너지 전력 소자, 광전 부품 등 고급 제조 분야에 폭넓게 적용됩니다.
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