Kleines Flächenpoliergerät basiert auf präziser Kraftübertragung und flexibler Druckregelstruktur. Sein Kernmechanismus ist geringer Materialabtrag und spannungsarme Bearbeitung. Es eignet sich für die ultrapräzise Flächenveredelung diverser kleiner und dünner Präzisionsproben und löst effektiv das Problem der Substratschäden durch großen Abtrag und hohe Bearbeitungsspannung bei großen Poliermaschinen. Ausgestattet mit einem unabhängigen geschlossenen Regelkreis stimmt es Poliergeschwindigkeit, Bearbeitungsdruck und Bearbeitungsdauer exakt ab und ermöglicht einen kontrollierbaren Materialabtrag im Mikrometerbereich. Die homogenisierte Bahnenführung der Polierscheibe beseitigt Bearbeitungsfehler wie lokale Überpolierung und Oberflächenwellen. Es verbessert dauerhaft die Ebenheitsgenauigkeit und den Rauheitsgrad der Werkstücke, bewahrt die ursprüngliche metallografische Struktur und physikalischen Eigenschaften des Materials weitgehend und vermeidet Sekundärschäden wie Mikrorisse und Oberflächenveränderungen durch die Bearbeitung. Das Gerät eignet sich für Proben aus vielen Materialien wie Metalle, Hartmetalle, Keramik, optische Kristalle und Halbleitersubstrate und ist sehr universell einsetzbar. Der kompakte modulare Aufbau erlaubt die genaue Speicherung und schnelle Wiederholung von Prozessparametern. Probenwechsel und Austausch von Verbrauchsmaterialien sind komfortabel und effizient, sodass mehrere Prozessvergleichstests rasch durchgeführt werden können. Aufgrund seiner Vorteile: geringe Beschädigung, hohe Flexibilität und hohe Präzision wird es vielfach eingesetzt für metallografische Probenherstellung, Mikromorphologieprüfung und Probenvorbereitung für mechanische Tests in Materiallaboren. Es erfüllt zudem Anforderungen der Kleinserien-Präzisionsbearbeitung von miniaturisierten Präzisionsteilen und liefert standardisierte Prozessunterstützung für materialwissenschaftliche Analysen und Vorverarbeitung bei der Massenproduktion von Präzisionsbauteilen.