듀얼 축 웨이퍼 연삭기는 웨이퍼 정밀 박막화의 핵심 장비로, 듀얼 주축의 협업을 통해 조연삭과 정연삭의 일체화 가공을 실현합니다. 첨단 패키징의 웨이퍼 초박형화, 고정밀 요구에 부합하며, 단일 축 모델에 비해 현저한 장점을 갖춰 중고급 제조 현장의 주류 선택으로 자리 잡았습니다.

핵심 장점은 세 가지로 집약됩니다. 첫째, 가공 정밀도와 품질입니다. 단일 축 장비는 조연삭과 정연삭을 분절적으로 수행해야 하며, 공정 전환 과정에서 위치 편차가 발생하기 쉽습니다. TTV 제어 정밀도는 대부분 ±2–3μm 수준입니다. 듀얼 축 웨이퍼 연삭기는 듀얼 주축이 동기화되어 작동하며, 조연삭 후 별도의 재위치 지정 없이 바로 정연삭으로 이어집니다. 듀얼 고정밀 센서 폐루프 제어와 결합하여 TTV 정밀도는 ±1μm 이내에 도달할 수 있습니다. 표면 스크래치, 에지 칩핑 등의 결함을 효과적으로 줄이고, 8–12인치 웨이퍼 및 탄화규소, 갈륨비소 등 경취성 소재 웨이퍼에 적용 가능합니다.

둘째, 생산 효율입니다. 단일 축 장비는 공정 연계가 번거롭고 단일 웨이퍼 가공 주기가 깁니다. 듀얼 축 웨이퍼 연삭기는 조연삭과 정연삭의 병렬 처리를 실현하고, 연삭 휠 교체 및 파라미터 조정이 필요 없어 공정 간격을 크게 단축합니다. 단일 웨이퍼 가공 효율이 40% 이상 향상되고, 교대당 생산 능력이 단일 축 모델보다 현저히 높아 대량 규모 생산에 적합합니다.

셋째, 안정성과 적응성입니다. 단일 축 장비는 빈번한 공정 전환으로 장비 마모가 발생하기 쉽고, 파라미터 변동이 수율에 영향을 미칩니다. 듀얼 축 웨이퍼 연삭기는 파라미터 표준화 수준이 높고, 듀얼 축 협업 운행 안정성이 더욱 우수하며 수율 변동이 적습니다. 또한 레시피 최적화를 통해 다양한 두께, 소재 웨이퍼의 박막화 요구에 적응할 수 있습니다. 조작 난이도가 적당하여 일반 작업자도 단기 교육으로 조작을 습득할 수 있습니다.

공장에서 듀얼 축 웨이퍼 연삭기를 최우선으로 선택하는 핵심 이유는 정밀도, 효율, 적응성을 동시에 갖추었기 때문입니다. 단일 축 모델의 정밀도 부족, 효율 저하 문제를 해결하는 동시에 고급 다축 장비의 높은 비용을 부담할 필요가 없습니다. 첨단 패키징 정밀 박막화 요구에 정확히 부합하여 중고급 웨이퍼 가공 현장의 비용 대비 효율이 우수한 선택으로 자리 잡았습니다.